Molibdeno taikinys yra specialus metalinis taikinys, pagamintas iš molibdeno, daugiausia naudojamas aukštųjų technologijų srityse. Molibdenas, sidabro baltumo metalas, yra žinomas dėl savo aukštos lydymosi temperatūros ir gero elektros bei šilumos laidumo, leidžiančio išlikti stabiliam aukštoje temperatūroje arba aukšto slėgio aplinkoje. Todėl molibdeno taikiniai vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkių gamyboje, plonos plėvelės nusodinimo technologijoje, fotovoltinėje pramonėje ir medicininėje vaizdo gavimo įrangoje. Molibdeno taikiniai gali būti gaminami karšto izostatinio presavimo (HIP), lydymo, cheminio nusodinimo garais (CVD) ir fizinio nusodinimo garais (PVD) būdu. Kiekvienas metodas turi savo ypatybes ir taikymo sritį. Pasirinkite tinkamą paruošimo technologiją. Priklauso nuo reikalingo molibdeno tikslinio galutinio panaudojimo, reikiamo veikimo ir ekonominių aplinkybių.
Surištas vario pagrindas ne tik pagerina tikslinį našumą, bet ir padeda sumažinti veiklos sąnaudas, o tai ypač svarbu pramonės šakoms, kurios priklauso nuo ilgalaikių, stabilių plonasluoksnių nusodinimo procesų. Jis turi šiuos privalumus:
1. Pagerinti šilumos laidumo efektyvumą: Varis pasižymi itin dideliu šilumos laidumu (apie 400 W/m·K), kuris yra daug didesnis nei molibdeno. Molibdeno taikinio prijungimas prie varinės pagrindo plokštės gali žymiai pagerinti bendrą taikinio šilumos laidumo efektyvumą. Didelės spartos dengimo procesų metu tai padeda greičiau nukreipti šilumą nuo molibdeno taikinio, taip apsaugodama taikinį nuo perkaitimo.
2. Sumažinkite šiluminį įtempį: nusodinimo proceso metu tikslinės medžiagos terminis įtempis gali sukelti įtrūkimus ir lūžius. Didelis vario pagrindo plokštės šilumos laidumas padeda tolygiai paskirstyti šilumą ir sumažina šiluminio streso koncentraciją molibdeno taikinyje, taip sumažinant šilumos sukeltą žalą.
3. Pailginkite tarnavimo laiką: sumažinus šiluminį įtempį ir pagerinus šiluminį efektyvumą, varinė galinė plokštė gali žymiai pailginti molibdeno taikinio tarnavimo laiką. Šis derinys padeda išvengti priešlaikinio tikslinio nusidėvėjimo ar pažeidimų naudojimo metu, todėl keičiama rečiau ir sumažėja ilgalaikės išlaidos.
4. Pagerinkite mechaninį stabilumą: pridėjus varinę atraminę plokštę, padidėja bendras taikinio mechaninis stabilumas. Tai ypač svarbu greito nusodinimo procesų metu, nes padeda išlaikyti taikinio struktūrinį vientisumą ir sumažinti žalą dėl mechaninio smūgio ar vibracijos.
5. Didelis pritaikomumas: šis surišimo metodas gali reguliuoti vario užpakalinės plokštės storį ir formą pagal skirtingus taikymo reikalavimus, užtikrinant didesnį lankstumą ir pritaikomumą. Tai leidžia molibdeno taikiniams geriau atitikti specifinės nusodinimo įrangos ir procesų reikalavimus.
