Vario purškimo taikiniai užima pagrindinę vietą daugelyje sričių, pavyzdžiui, puslaidininkių gamyboje, fotovoltinės energijos pramonėje, ekranų technologijoje ir kt., pasižymintys puikiomis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis. Kaip pagrindinė IC ir plėvelės gamybos žaliava, vario purškimo taikinių kokybė tiesiogiai veikia galutinio produkto veikimą ir patikimumą.
Gamybos procesas
Grynumas yra vienas iš pagrindinių veiksnių, turinčių įtakosVario purškiantys taikiniainašumą, o vario grynumas paprastai turi būti 99,99 % arba didesnis. Pasirinkta didelio-grynumo vario medžiaga išlydoma kontroliuojamoje aplinkoje, kad nepatektų priemaišų. Tada išlydytas varis supilamas į iš anksto-paruoštą formą ir atšaldomas, kad susidarytų. Šis etapas kontroliuoja vario aušinimo greitį ir kryptį, kad būtų išvengta vidinių defektų. Tada valcavimo proceso metu vario ruošinys yra apdorojamas tam tikro storio plokšte. Valcavimo proceso metu slėgis ir greitis yra tiksliai kontroliuojami, kad būtų užtikrintas medžiagos vienodumas ir lygumas. Galiausiai, atsižvelgiant į konkrečius klientų poreikius, valcuota varinė plokštė yra pjaunama, perforuojama ir atliekamas kitas mechaninis apdorojimas, kad būtų galima pagaminti tam tikrą tikslinės medžiagos formą ir dydį.
Puikios varinių purškiančių taikinių savybės
(1) Didelis grynumas:Vario purškimo taikiniai paprastai turi būti labai gryni, paprastai 99,99 % arba didesni, o tai užtikrina, kad plėvelės nusodinimo proceso metu galima gauti aukštos kokybės dangą, sumažinant priemaišų patekimo riziką. Svarbu pagerinti puslaidininkinių įtaisų ir fotovoltinių modulių veikimą.
(2) Puikus elektros laidumas:Varis yra puiki laidi medžiaga; jo tikslinė forma išlaiko aukštą laidumą, o tai ypač svarbu gaminant laidžiuosius kelius elektroniniuose įrenginiuose.
(3) Didelis šilumos laidumas:užtikrina efektyvų šilumos perdavimą naudojimo metu, sumažina energijos sąnaudas, gerina gamybos efektyvumą ir gaminių kokybę.
(4) Geros mechaninės savybės:pasižymi geru lankstumu ir kietumu, lengvai apdorojamas įvairių formų ir dydžių, kad atitiktų įvairių pritaikymų poreikius.
(5) Ilgas tarnavimo laikas:Jo geros mechaninės savybės ir paviršiaus apdorojimo technologija užtikrina didesnį panaudojimą ir mažiau priežiūros poreikių gamybos procese, taip pagerinant gamybos efektyvumą.
(6) Stiprus prisitaikymas:Dėl puikių fizinių ir cheminių vario taikinio galinės plokštės savybių jis plačiai taikomas įvairiose aukštųjų{0}}technologijų gamybos srityse, pvz., integriniuose grandynuose, fotovoltinės energijos generavimo ir ekrano technologijose.
Taikymo laukas
(1) Puslaidininkių pramonė
Integrinių grandynų gamyba: dėl didelio vario laidumo jis yra ideali medžiaga tranzistoriams prijungti, pagerinti IC veikimą ir energijos vartojimo efektyvumą.
Plonosios plėvelės nusodinimo technologija: naudojant fizinį nusodinimą iš garų (PVD) ir kitas technologijas, naudojant varines tikslines galines plokštes, kad ant pagrindo būtų suformuota plona plėvelė; šios plėvelės gali būti naudojamos plokščių ir lustų gamybai.
(2) Fotoelektros pramonė
Vario purškimo taikiniai atlieka pagrindinį vaidmenį gaminant plonas saulės elementų plėveles, ypač gaminant vario indžio galio seleno (CIGS) saulės elementus. Dėl puikių vario laidumo savybių ir cheminio stabilumo jis yra svarbi šio tipo baterijų medžiagos dalis, o tai labai pagerina saulės energijos konversijos efektyvumą.
(3) Elektroninio ekrano technologija
Skystųjų kristalų ekranas (LCD): vario purškimo taikinys dažnai naudojamas plonos{0}plėvelės grandinėms skystųjų kristalų ekrane gaminti, o didelis jo laidumas užtikrina greitą ir tikslų signalų perdavimą, pagerinant ekrano kokybę ir įrenginio atsako greitį.
Organinis{0}}šviesos diodas (OLED): naudojant OLED ekrano technologiją, didelis elektros laidumas ir geros šilumos laidumo savybės padeda pagerinti OLED ekranų šviesos efektyvumą ir tarnavimo laiką.
