„Copper Sputtering Target“ užima pagrindinę vietą daugelyje sričių, pavyzdžiui, puslaidininkių gamyboje, fotovoltinės energijos pramonėje, ekranų technologijoje ir pan., pasižyminti puikiomis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis. Vario purškimo taikinio, kaip pagrindinės IC ir plėvelės gamybos žaliavos, kokybė tiesiogiai veikia galutinio produkto veikimą ir patikimumą.
1. Gamybos procesas
Grynumas yra vienas iš pagrindinių veiksnių, turinčių įtakos vario purškimo taikinio veikimui, o vario grynumas paprastai turi būti 99,99 % arba didesnis. Pasirinkta didelio grynumo vario medžiaga yra lydoma kontroliuojamoje aplinkoje, kad būtų išvengta priemaišų patekimo. Tada išlydytas varis supilamas į iš anksto paruoštą formą ir atšaldomas, kad susidarytų. Šis etapas kontroliuoja vario aušinimo greitį ir kryptį, kad būtų išvengta vidinių defektų. Tada valcavimo proceso metu vario ruošinys yra apdorojamas tam tikro storio plokšte. Valcavimo proceso metu slėgis ir greitis yra tiksliai kontroliuojami, kad būtų užtikrintas medžiagos vienodumas ir lygumas. Galiausiai, atsižvelgiant į konkrečius klientų poreikius, valcuota varinė plokštė yra supjaustoma, perforuojama ir kitaip apdorojama mechaniniu būdu, kad būtų sukurta tam tikra tikslinės medžiagos forma ir dydis.
2. Puikios savybės
(1) Didelis grynumas: paprastai reikalaujama, kad vario purškimo taikinys būtų labai grynas, paprastai 99,99 % arba didesnis, o tai užtikrina, kad plėvelės nusodinimo proceso metu būtų galima gauti aukštos kokybės dangą, sumažinant priemaišų patekimo riziką. Svarbu pagerinti puslaidininkinių įtaisų ir fotovoltinių modulių veikimą.
(2) Puikus elektros laidumas: varis, kaip puiki laidžioji medžiaga, jo tikslinė forma išlaiko aukštą laidumą, o tai ypač svarbu gaminant elektroninius prietaisus laidžius takus.
(3) Didelis šilumos laidumas: užtikrina efektyvų šilumos perdavimą naudojimo metu, sumažina energijos sąnaudas ir pagerina gamybos efektyvumą bei gaminio kokybę.
(4) Geros mechaninės savybės: geras lankstumas ir kietumas, lengvai apdorojami įvairių formų ir dydžių, kad atitiktų įvairių pritaikymų poreikius.
(5) Ilgas tarnavimo laikas: dėl gerų mechaninių savybių ir paviršiaus apdorojimo technologijos gamybos procese naudojamas didesnis panaudojimo lygis ir mažiau priežiūros poreikių, taip pagerinant gamybos efektyvumą.
(6) Geras pritaikomumas: Dėl puikių fizinių ir cheminių vario tikslinės galinės plokštės savybių ji plačiai pritaikoma įvairiose aukštųjų technologijų gamybos srityse, tokiose kaip integriniai grandynai, fotovoltinės energijos generavimas ir ekrano technologija.
3. Taikymo laukas
(1) Puslaidininkių pramonė
Integrinių grandynų gamyba: dėl didelio vario laidumo jis yra ideali medžiaga tranzistoriams prijungti, gerinant IC našumą ir energijos vartojimo efektyvumą.
Plonos plėvelės nusodinimo technologija: naudojant fizinį nusodinimą iš garų (PVD) ir kitas technologijas, naudojant vario tikslinę galinę plokštę, kad ant pagrindo būtų suformuota plona plėvelė, šios plėvelės gali būti naudojamos grandinių plokštėms ir lustams gaminti.
(2) Fotoelektros pramonė
Vario purškimo taikinys vaidina pagrindinį vaidmenį gaminant plonas plėveles saulės elementams, ypač gaminant vario indžio galio seleno (CIGS) saulės elementus. Dėl puikių vario laidumo savybių ir cheminio stabilumo jis yra svarbi šio tipo baterijų medžiagos dalis, o tai labai pagerina saulės energijos konversijos efektyvumą.
(3) Elektroninio ekrano technologija
Skystųjų kristalų ekranas (LCD): Copper Sputtering Target dažnai naudojamas plonų plėvelių grandinėms gaminti skystųjų kristalų ekranuose, o didelis laidumas užtikrina, kad signalai būtų perduodami greitai ir tiksliai, pagerinant ekrano kokybę ir įrenginio atsako greitį.
Organinis šviesos diodas (OLED): OLED ekrano technologijoje didelis elektros laidumas ir geros šilumos laidumo savybės padeda pagerinti OLED ekranų šviesos efektyvumą ir tarnavimo laiką.
