1. Grynumas
Titano taikinio grynumas turi didelę įtaką purškiamų plėvelių savybėms. Kuo didesnis taikinio grynumas, tuo mažiau priemaišų elementų dalelių purškiamoje plėvelėje ir tuo geresnės plėvelės savybės (pvz., atsparumas korozijai, optinės ir elektrinės savybės). Praktikoje skirtingiems tikslams skirti titano taikinių grynumo reikalavimai yra skirtingi. . Pavyzdžiui, bendrųjų dekoratyvinių dangų taikinių grynumo reikalavimai nėra griežti, o integrinių grandynų, ekranų korpusų ir kitų sričių taikiniams keliami daug aukštesni grynumo reikalavimai, paprastai apie 99,999 proc. arba daugiau.
2. Vidutinis grūdelių dydis
Paprastai titano taikinys turi polikristalinę struktūrą, o grūdelių dydis gali svyruoti nuo mikronų iki milimetrų. Smulkaus dydžio grūdelių taikinio purškimo greitis yra greitesnis nei stambiagrūdžio taikinio. Purškiamos plėvelės storio pasiskirstymas taip pat yra gana vienodas. Vidutinis integrinių grandynų titano taikinių grūdelių dydis paprastai turi būti ne didesnis kaip 30 μm, o vidutinis itin smulkiagrūdžių titano taikinių grūdelių dydis yra mažesnis nei 10 μm.
3. Kristalo orientacija
Titanas turi sandarią šešiakampę struktūrą. Purškimo metu tiksliniai titano atomai lengvai išpurškiami šešiakampio atomų išdėstymo kryptimi. Todėl, norint pasiekti didžiausią purškimo greitį, galima padidinti purškimo greitį keičiant taikinio kristalinę struktūrą. purškimo greitis. Titano taikinio kristalizacijos kryptis taip pat turi didelę įtaką purškiamo plėvelės sluoksnio storio vienodumui, o plokščio ekrano ir dekoratyvinės dangos plėvelės dydis yra gana storas, todėl atitinkamo titano taikinio grūdelių orientacijos reikalavimai yra tokie. palyginti žemas.
4. Geometrija ir dydis
Tai daugiausia atsispindi apdorojimo tikslumu ir apdorojimo kokybe, pvz., apdorojimo dydžiu, paviršiaus lygumu, šiurkštumu ir tt Mažas storis turės įtakos tikslo tarnavimo laikui; per grubus sandarinimo paviršius ir sandarinimo griovelis sukels vakuumo problemų po taikinio įrengimo; šiurkštus taikinio purškiamąjį paviršių, taikinio paviršius gali būti pilnas išsikišusių antgalių, o veikiant antgalio efektui, šių pakeltų galiukų potencialas labai padidės, taip suardant dielektrinę iškrovą. Tačiau per didelis išsikišimas kenkia purškimo kokybei ir stabilumui.
Mūsų įmonė gali tiekti titano lydinius, tokius kaipTitano aliuminio purškimo taikiniaiirTitano Ti purškimo taikinys, taip pat skirtingo grynumo ir formos titano taikinius, taip pat priimti pritaikytas paslaugas. Jei reikia, susisiekite su mumis el.
