Metaliniai taikiniai susideda iš vieno metalo arba metalo lydinio, kuris buvo specialiai apdorotas ir patobulintas, kad atitiktų didelio grynumo ir specifinės mikrostruktūros reikalavimus. Įprasti metaliniai taikiniai yra varis, aliuminis, sidabras, titanas ir jų lydiniai. Metaliniai taikiniai parenkami atsižvelgiant į jų unikalias fizines ir chemines savybes, siekiant optimizuoti procesų, tokių kaip jonų implantacija ir plonasluoksnis nusodinimas, veikimą ir efektyvumą. Mūsų įmonė gali suteiktiTitano Ti purškimo taikinys, 99,95 % cirkonio purškimo taikiniaiir chromo taikinius bei kitus metalinius taikinius, jei reikia, rašykite mums el.
Keraminiai taikiniai sudaryti iš didelio grynumo nemetalinių junginių, įskaitant oksidus, silikatus, nitridus ir pan. Šie taikiniai paruošiami aukštos temperatūros sukepinimo metodais, kad būtų suformuotos kietos medžiagos, turinčios sudėtingų cheminių ir fizinių savybių. Unikali jų sudėtis suteikia jiems nepakeičiamą vietą aukštųjų technologijų taikymuose, ypač puslaidininkių gamyboje, optoelektroninėse medžiagose ir plonų plėvelių technologijoje.
1. Kaina ir paruošimo sunkumas
Keraminių taikinių paruošimas yra sudėtingas ne tik dėl reikalingo sukepinimo aukštoje temperatūroje proceso, bet ir dėl būtinybės kontroliuoti jų grynumą ir mikrostruktūrą, kad būtų užtikrintas galutinio produkto veikimas. Priešingai, metalinių taikinių lydymo ir apdirbimo procesas yra gana paprastas, pasižymi dideliu plastiškumu ir lengvu formavimu bei apdorojimu.
Išlaidų požiūriu metaliniai taikiniai paprastai yra pigesni nei keraminiai, nes metalo išgavimo, apdorojimo ir paruošimo procesas yra gana paprastas. Tačiau keraminių taikinių paruošimas reikalauja sudėtingesnio proceso
2. Fizinės ir cheminės savybės
Dėl savo unikalios cheminės struktūros keraminiai taikiniai paprastai turi didesnį kietumą ir lydymosi temperatūrą, todėl jie yra stabilesni aukštoje temperatūroje ir tinka plėvelės nusodinimo aukštoje temperatūroje procesams. Ypač naudojant aukštą temperatūrą arba korozinę aplinką. Jie lengvai nereaguoja su kitais elementais, išlaikydami medžiagos grynumą ir stabilumą.
Metaliniai taikiniai tinka įvairiems sudėtingų formų paruošimo reikalavimams, ypač šilumos ir elektros laidumo požiūriu, gerokai pranašesni už keraminius taikinius, todėl jie yra tinkamesni tais atvejais, kai reikia gero šilumos valdymo ir elektrinių savybių. Tačiau tam tikromis sąlygomis jis gali oksiduotis arba rūdyti.
3. Taikymo laukas
Metaliniai taikiniai plačiai naudojami situacijose, kai reikalingas geras laidumas ir šilumos laidumas, pavyzdžiui, ruošiant laidžias plėveles, atspindinčias plėveles ir gaminant magnetines medžiagas. Puikus jų plastiškumas suteikia jiems pranašumą gaminant sudėtingų formų taikinius.
Dėl didelio grynumo, cheminio stabilumo ir aukštos lydymosi temperatūros keraminiai taikiniai turi unikalų pritaikymą puslaidininkių gamyboje, aukštos temperatūros plonos plėvelės nusodinimui ir fotoelektrinių medžiagų paruošimui. Šioms reikmėms dažnai reikalingos itin aukštus našumo standartus atitinkančios medžiagos.
