Purškimo taikinys – tai purškimo šaltinis, kuris atitinkamomis proceso sąlygomis išpurškiamas ir nusodinamas ant pagrindo naudojant magnetroninį dulkinimą, kelių lankų jonų dengimą ar kitokio tipo dengimo įrangą, kad būtų suformuotos įvairios funkcinės plėvelės. Pagal sudėtį taikinius galima suskirstyti į gryno metalo taikinius, lydinio taikinius, oksidinius taikinius, silicidinius taikinius ir kt.; pagal formą juos galima skirstyti į plokštuminius (stačiakampius ir lankinius) ir vamzdinius taikinius. . Purškiami taikiniai plačiai naudojami daugelyje sričių, pavyzdžiui, dekoravimo, įrankių ir formų, stiklo, elektroninių prietaisų, puslaidininkių, magnetinio įrašymo, plokščių ekranų, saulės elementų ir kt. Skirtingiems laukams reikalingos skirtingos tikslinės medžiagos.
1. Dekoratyvinė danga
Dekoratyvinė danga daugiausia reiškia mobiliųjų telefonų, laikrodžių, akinių, santechnikos, techninės įrangos dalių ir kitų gaminių paviršiaus dangą. Jis ne tik pagražina spalvą, bet ir turi atsparumą dilimui, atsparumą korozijai ir kitas funkcijas. Pagrindinės dekoratyvinės dangos taikinių rūšys yra: chromo taikinys, titano taikinys, cirkonio taikinys, nikelio taikinys, volframo taikinys, titano-aliuminio taikinys, nerūdijančio plieno taikinys ir kt.
2. Apdirbimo formų ar įrankių dengimas
Jis daugiausia naudojamas įrankių ir formų paviršiaus stiprinimui, o tai gali žymiai pagerinti įrankių ir formų tarnavimo laiką bei apdorotų dalių kokybę. Pastaraisiais metais, dėl aviacijos ir automobilių pramonės plėtros, pasaulinės gamybos pramonės techninis lygis ir gamybos efektyvumas padarė didelę pažangą, o našių pjovimo įrankių ir formų paklausa kasdien auga. Pagrindiniai formų padengimui naudojamų taikinių tipai: titano-aliuminio taikiniai, chromo taikiniai, titano taikiniai ir kt.
3. Stiklo danga
Tikslinės medžiagos ant stiklo daugiausia naudojamos mažos spinduliuotės padengto stiklo gamybai, kuriame naudojamas magnetrono purškimo principas, kad ant stiklo būtų purškiami keli plonų sluoksnių sluoksniai, kad būtų galima taupyti energiją, valdyti šviesą ir dekoruoti. Pagrindiniai taikinių tipai: sidabrinis taikinys, chromo taikinys, titano taikinys, nikelio-chromo taikinys, silicio-aliuminio taikinys, titano oksido taikinys ir kt. Kitas svarbus taikinių medžiagų panaudojimas ant stiklo yra automobilių galinio vaizdo veidrodžių, daugiausia chromo, paruošimas. taikiniai, aliuminio taikiniai, titano oksido taikiniai ir tt Kadangi automobilių galinio vaizdo veidrodžių kokybės reikalavimai ir toliau didėja, daugelis įmonių perėjo nuo pradinio aliuminio dengimo proceso prie vakuuminio purškimo chromavimo proceso.
4. Elektroninio prietaiso danga
Elektroninių prietaisų dangos daugiausia naudojamos plonasluoksniams rezistoriams ir plonasluoksniams kondensatoriams. Plonasluoksnių rezistorių tikslinės medžiagos yra NiCr taikinys, nikelio chromo silicio (NiCrSi) taikinys, chromo silicio (CrSi) taikinys, tantalo (Ta) taikinys, nikelio chromo aliuminio (NiCrA1) taikinys ir kt.
5. Plokščia ekrano danga
Spartus nešiojamųjų asmeninių kompiuterių, televizorių, mobiliųjų telefonų ir kt. plokščių ekranų paklausos augimas labai paskatino įvairių tipų plokščiaekranių ekranų įrenginių kūrimą. Jo tipai: skystųjų kristalų ekranas (LCD), plazminis ekranas (PDP) ir tt Visi šie plokščiaekraniai ekranai naudoja įvairių tipų plėveles. Be plonasluoksnės technologijos nebūtų plokščių ekranų įrenginių. Siekiant užtikrinti didelio ploto dangų vienodumą, pagerinti našumą ir mažinti sąnaudas, šioms dangoms ruošti vis dažniau naudojama purškimo technologija. Pagrindiniai taikinių tipai, naudojami plokščių ekranų dangai: chromo taikiniai, molibdeno taikiniai, aliuminio lydinio taikiniai, variniai taikiniai ir kt.
6. Puslaidininkinė danga
Spartus informacinių technologijų vystymasis reikalauja, kad integriniai grandynai būtų vis labiau integruoti. Kiekvienas įrenginys sudarytas iš pagrindo, izoliacinio sluoksnio, dielektrinio sluoksnio, laidininko sluoksnio ir apsauginio sluoksnio. Tarp jų yra dielektrinis sluoksnis, laidininko sluoksnis ir net apsauginis sluoksnis. Naudojamas purškimo dengimo procesas, todėl purškimo taikinys yra viena iš pagrindinių medžiagų ruošiant integrinius grandynus. Tikslinėms medžiagoms puslaidininkinei dangai reikalingas didelis tikslinis grynumas, paprastai didesnis nei 4 N arba 5 N. Pagrindinės rūšys yra volframo-titano, titano taikiniai, aliuminio taikiniai ir variniai taikiniai.
