Atgalinės dengimo procesas reiškia vieno ar kelių metalo/lydinio pereinamųjų sluoksnių nusodinimą ant ne{0}}purškiamos užpakalinės purškiamo objekto pusės naudojant vakuuminę dangą ir kitas technologijas, siekiant sustiprinti taikinio ir pagrindo plokštės sukibimą. Tai ne tik pagerina taikinio dangos kokybę, bet ir prailgina jo tarnavimo laiką.
Kas yra "nugarinė danga"?
Purškiamieji taikiniai paprastai yra „taikinio korpuso“ (pagrindinis komponentas, naudojamas purškiant, pvz., aliuminio oksido keramikos, vario ar molibdeno taikiniai) ir „atraminės plokštės“ (pagrindas, naudojamas taikiniui palaikyti ir šilumai paskirstyti, paprastai pagamintas iš vario arba aliuminio lydinių). Jie abu sujungiami suvirinant arba suklijuojant.
„Atgalinis dengimas“ apima tam tikros medžiagos (paprastai gero elektros arba šilumos laidumo metalo, pvz., vario, aliuminio ar sidabro) sluoksnio nusodinimą ant galinės purškiamo objekto pusės (ne{0}}darbinio paviršiaus, esančio priešais purškiamąjį paviršių) naudojant fizinį nusodinimą iš garų (PVD) arba kitais metodais. Taip sukuriama trijų-sluoksnių sudėtinė struktūra: „tikslinio korpuso - galinio dengimo sluoksnio - atraminė plokštė“. Ši danga nedalyvauja faktiniame plonos plėvelės nusodinimo procese, tačiau ji turi reikšmingos įtakos bendram taikinio veikimui ir tarnavimo laikui.
Pagrindinės nugaros dengimo funkcijos
1. Patobulintas šilumos perdavimas ir pagerintas šilumos išsklaidymas
Purškimo proceso metu tikslinis paviršius yra bombarduojamas didelės-energijos jonais ir maždaug 70 % energijos paverčiama šiluma, todėl tikslinė temperatūra smarkiai pakyla. Padengus taikinio galinę dalį labai šilumai laidžia medžiaga, galima žymiai pagerinti terminį kontaktą tarp taikinio ir aušinimo pagrindo plokštės, pagreitinant šilumos perdavimą iš taikinio į aušinimo sistemą ir efektyviai kontroliuojant darbinę temperatūrą.
2. Elektrinio kontakto gerinimas ir iškrovos stabilumo užtikrinimas
Magnetroninis purškimas priklauso nuo stabilios plazmos iškrovos susidarymo ant tikslinio paviršiaus. Galinė danga paprastai yra pagaminta iš labai laidžios medžiagos, kad būtų sumažintas kontaktinis pasipriešinimas, užtikrintas vienodas srovės paskirstymas ir padidintas iškrovos stabilumas. Tai ypač svarbu naudojant didelės-galios purškimą (pvz., HIPIMS).
3. Mechaninio sukibimo gerinimas ir taikinio nukritimo prevencija
Taikiniai paprastai tvirtinami prie metalinių pagrindo plokščių litavimo arba mechaninio presavimo būdu. Mikroskopiniai tarpai tarp taikinio ir atraminės plokštės arba silpnas sukibimas gali lengvai sukelti delaminaciją arba atsiskyrimą dėl terminio ciklo ir mechaninės vibracijos. Galinė danga veikia kaip „pereinantis sluoksnis“, pagerinantis drėkinamumą ir sukibimą tarp tikslinės ir pagrindo plokštės.
4. Užteršimo ir oksidacijos prevencija
Tam tikros tikslinės medžiagos lengvai reaguoja su deguonimi arba vandens garais ore esant aukštai temperatūrai, sudarydamos oksido sluoksnį, kuris turi įtakos purškimo efektyvumui ir plėvelės grynumui. Užpakalinė danga gali būti fizinė kliūtis, skirta taikinio nugarą izoliuoti nuo išorinės aplinkos ir užkirsti kelią oksidacijai bei užteršimui. Tai ypač svarbu taikinio laikymo ir transportavimo metu.
Įprasti nugaros{0}}dengimo procesai
1. Magnetroninis purškimas: vario arba aliuminio taikinys naudojamas laidžiui sluoksniui nusodinti ant taikinio galo. Šis metodas tinka dideliems- plotams, kuriems reikalingas didelis vienodumas.
2. Galvaninis arba beelektrinis dengimas: tinka laidžiam pagrindui ir yra palyginti maža kaina, tačiau reikia atidžiai kontroliuoti dangos įtempį.
3. Terminis purškimas: šis metodas, pvz., plazminis purškimas, tinka sudėtingoms formoms arba storo sluoksnio nusodinimui, tačiau gali padidinti paviršiaus šiurkštumą.
Populiariausi FANMETAL{0}}pardavimo tikslai
Dažnos klaidingos nuomonės
1. Ar storesnė nugaros-danga visada yra geresnė?
Nebūtinai. Per storos galinės dangos{1}}gali sukelti šiluminio plėtimosi neatitikimo įtampą, dėl kurios gali atsirasti įtrūkimų. Paprastai storis reguliuojamas nuo kelių mikronų iki dešimčių mikronų, todėl reikia optimizuoti pagal medžiagos šiluminio plėtimosi koeficientą.
2. Ar visiems taikiniams reikia užpakalinės-dangos?
Nebūtinai. Mažo-masto, mažos-galios ar trumpalaikio-purškimo atveju galinė-danga gali būti nereikalinga. Tačiau pramoniniuose įrenginiuose, kuriems reikalinga didelė galia, dideli plotai ir ilgas tarnavimo laikas, galinė-danga tapo standartu.
3. Ar atgalinis-platinimas turi įtakos tiksliniam naudojimui?
Pats nugarėlės-dengimas nenaudoja purškiančių medžiagų. Vietoj to, jis pagerina bendrą naudojimą, padidindamas stabilumą ir tarnavimo laiką.
Išvada
Nors užpakalinė-purškimo taikinių danga tiesiogiai nedalyvauja nusodinant ploną plėvelę, ji yra labai svarbi norint užtikrinti stabilius, efektyvius ir ilgai trunkančius{2}}purškimo procesus. Pagerindamas šilumos laidumą, optimizuodamas elektrinį kontaktą, padidindamas sukibimo stiprumą ir užkertant kelią užteršimui, jis visapusiškai padidina taikinio tarnavimo laiką (pailgina jį 2-3 kartus), dangos kokybę (sumažina defektų skaičių) ir proceso stabilumą (sumažina prastovų riziką). Būsima technologinė pažanga leis magnetroniniu purškimu pakeisti tradicinius garinimo procesus nusodinant užpakalinę dangą, leidžiantį storio nuokrypį ±0,5 μm ir toliau optimizuoti tikslinį veikimą. Jei turite klausimų dėl šio produkto informacijos ar pristatymo laiko, nedvejodami susisiekite su mumis adresu admin@fanmetalloy.com. Laukiame jūsų žinutės.
