Vakuuminio nusodinimo, optinės dangos ir puslaidininkinės plonosios{0}plėvelės procesų metutantalo granulės yra pagrindinis veiksnys, tiesiogiai lemiantis dangos išeigą ir partijos stabilumą. Tačiau susidūrę su įvairaus grynumo tantalo granulėmis (pvz., 3N5, 4N5 ir 5N), kai kurie inžinieriai ir pirkimų personalas dažnai patenka į klaidingą nuomonę, kad „kuo didesnis grynumas, tuo geriau“. Naudojant tai gali kilti įvairių proceso problemų, įskaitant purškimą, miglotą apdailą, skylutes, nelygius plėvelės sluoksnius ir spalvų skirtumus tarp partijų. Tinkamo grynumo pasirinkimas turi įtakos ne tik filmo veikimui, bet ir tiesiogiai projekto sąnaudų{8}}efektyvumui.
Šiame straipsnyje pateikiamas praktinis atrankos vadovas, padėsiantis pirkimų vadovams ir dangų inžinieriams tiksliai nustatyti reikiamą tantalo granulių grynumą pagal konkrečius naudojimo scenarijus.
1. Kokį grynumą reiškia 3N5, 4N5 ir 5N?
N reiškia 9 s skaičių, naudojamą siekiant supaprastinti didelio-grynumo metalo grynumo žymėjimą:
| Tantalo granulių grynumo laipsnis | Tantalo grynumas | bendros priemaišos |
|
3N5 |
99.95% |
Maksimalus turinysMažiau nei arba lygus500 ppm |
|
4N5 |
99.995% |
Maksimalus turinysMažiau nei arba lygus50 ppm |
|
5N |
99.999% |
Maksimalus turinysMažiau nei arba lygus10 ppm |
Plonose plėvelėse susidaro „rūkas“ arba „smeigtukai“ dažnai yra ne pats grynumo procentas, o „kurios konkrečios priemaišos lieka“. Tiekėjai paprastai naudoja skirtingus valymo procesus (pvz., vakuuminį elektronų pluošto (EB) lydymą arba miltelių metalurgiją), kad kontroliuotų šias dvi pagrindinių teršalų kategorijas:
- Metalo priemaišos(Fe, Ni, Cr, Cu, Na, K): tai sukelia elektros gedimus puslaidininkiniuose įrenginiuose ir spalvų skirtumus tarp plėvelių partijų. Pereinamieji metalai sudaro gilius -lygio silicio defektus (didėja nuotėkio srovė), o šarminiai metalai sukelia mobiliojo-krūvio užteršimą (dėl slenkstinės -įtampos poslinkio).
- Intersticinės priemaišos(O, N, C, H): jie nustato plėvelės mechaninį įtempį ir sukibimą. Didelis deguonies kiekis sukelia gardelės iškraipymą ir pernelyg didelį vidinį įtempimą, kuris yra pagrindinės plėvelės nevienodumo, lupimo ir paviršiaus miglotumo priežastys.
2. Tipiniai kiekvieno grynumo laipsnio taikymo scenarijai
| Grynumo laipsnis | Bendrieji techniniai rodikliai | Tikslinės taikymo sritys | Privalumai |
|
3N5(99.95%) |
Pramoninis standartinis grynumas Kontroliuojamas medžiagos tankis |
|
Didelis tiekimas, didelės sąnaudos ir tinka masinei gamybai |
|
4N5(99.995%) |
Iš viso metalo priemaišų< 50 ppm Itin mažas deguonies/azoto kiekis |
|
Mažai deguonies ir mažai priemaišų, su vienoda danga be rūko dėmių |
|
5N(99.999%) |
Šarminių metalų < 1 ppm Pereinamieji metalai< 1 ppm Deguonies kiekis < 50 ppm |
|
Itin mažas priemaišų pėdsakų kiekis, visiškai užkertantis kelią taršai ir užtikrinantis stabiliausią veikimą |
Pagrindinis grynumo atrankos principas yra medžiagų efektyvumo suderinimas su proceso reikalavimais, o ne aklai siekti aukščiausios kokybės. Žaliavų sąnaudos didėja eksponentiškai nuo 3N5 iki 5N. Jei nedirbate su griežtais puslaidininkių{5}}procesų, per-nurodant 5N bus tik nereikalingas biudžeto švaistymas.
3. Vadovas, kaip išvengti spąstų: ko dar reikėtų ieškoti, be grynumo?
Vien grynumo etiketės negali garantuoti stabilaus dangos veikimo. Prieš pateikdami užsakymą, visada patikrinkite šias tris svarbias detales:
-
Dalelių forma ir dydis:
Garinant elektronų pluoštą, dažniausiai naudojamos standartinio{0}}dydžio tantalo granulės, pvz., 3 × 3 mm arba 6 × 6 mm. Netaisyklingos skeveldros arba smulkūs milteliai lydymosi metu gali lengvai aptaškyti medžiagą, todėl padengtuose ruošiniuose gali atsirasti skylučių gedimų.
-
Paviršiaus būklė:
Tantalas labai lengvai oksiduojasi ore. Aukštos-kokybės tantalo dalelės turi būti plaunamos rūgštimi ir itin švariai išdžiovinamos, o paviršiuje nėra matomų oksidacijos dėmių. 5N -klasės gaminius paprastai reikia pakuoti 100 klasės švarioje patalpoje.
-
Partijos nuoseklumas:
Nors 5N tantalo granules galima naudoti laboratoriniams tyrimams ir plėtrai, dideli priemaišų lygio svyravimai tarp partijų masinės gamybos metu gali lemti dažnus proceso lango koregavimus. Labai svarbu pasirinkti tiekėją, turintį patikimą atsekamumo sistemą, pvz., tokį, kuris kiekvienai partijai pateikia analizės sertifikatą (COA).
4. Greito atrankos cheat Sheet
- Masinė pramoninė ir dekoratyvinė danga: 3N5
- Tikslioji optika, elektronika, medicininės eksploatacinės medžiagos: 4N5
- Puslaidininkių plokštelių, implantų medicininiai ir pažangūs tyrimai: 5N
Nykščio taisyklė: suderinkite grynumą su savo procesu, o ne aklai rinkdamiesi aukščiausią klasę.
5. 3 Praktiniai patarimai perkant didelio{1}}grynumo tantalo granules
- Pirmiausia visada paleiskite mažas bandomąsias partijas, kad patikrintumėte, ar grynumas, dalelių dydis ir deguonies kiekis atitinka jūsų garinimo procesą.
- Be bendro grynumo, patikrinkite deguonies, anglies ir pereinamojo metalo priemaišų vertes, kurios dominuoja dangos išeigoje.
- Rinkitės patikimus gamintojus, teikiančius konkrečias serijos{0}}COA ataskaitas ir visišką medžiagų atsekamumą, kad būtų užtikrinta pastovi kokybė.
DUK
Kl .: Kaip patvirtinti, kuri grynumo klasė tinka mano dengimo procesui?
A: Pateikiame nedidelius bandomuosius pavyzdžius, kad galėtumėte atlikti tikrus gamybos įrangos garavimo bandymus. Mūsų techninė komanda gali pateikti tikslinių pasiūlymų dėl grynumo laipsnio, dalelių dydžio ir paviršiaus apdorojimo, peržiūrėjusi proceso parametrus, darbo temperatūrą ir galutinio naudojimo-naudojimą, kad išvengtumėte brangių specifikacijų neatitikimų.
Kl .: Kaip laikyti tantalo granules, kad būtų išvengta oksidacijos?
A: didelio{0}}grynumo tantalo granulės pristatomos vakuuminėse drėgmei{1}}atspariose sandariose pakuotėse. Visos nepanaudotos granulės turi būti vėl užsandarintos ir laikomos sausoje ir kambario temperatūroje, kad{3}}nebūtų ilgalaikis drėgnas oras. 5N itin -aukšto-grynumo tantalo granules rekomenduojame naudoti kuo greičiau atidarius pakuotę, kad būtų išvengta paviršiaus oksidacijos, kuri gali pakenkti dangos stabilumui.
Kl.: Kodėl vakuuminio garinimo procesas „išspjaudo“ net naudojant didelio{0}}grynumo granules?
A: Spjaudymąsi dažniausiai sukelia netaisyklinga dalelių morfologija arba pernelyg didelė paviršiaus oksidacija, o ne bendras grynumo procentas. Netaisyklingos arba per daug miltelių pavidalo dalelės sulaiko dujas ir kaitinant sukelia staigų užvirimą. Visada rinkitės įprastas 3x3 mm arba 6x6 mm daleles ir įsitikinkite, kad jos buvo nuplaunamos rūgštimi ir itin švariai išdžiovintos, kad pašalintumėte paviršiaus oksidus.
Išvada
Pasirinkus savo procesui tinkamo grynumo tantalo granules, galima efektyviai sumažinti įprastus dangos defektus, pagerinti gamybos išeigą ir optimizuoti žaliavų įsigijimo išlaidas.
FANMETAL siūlo tantalo granules, kurių grynumas svyruoja nuo 3N5 iki 5N, su pritaikytu dalelių dydžiu ir paviršiaus poliravimu, taip pat tiksliai kontroliuojant priemaišų ir deguonies kiekį. Taip pat galime pateikti visą atitikties sertifikatų rinkinį, pritaikytą jūsų pramonei ir eksporto paskirties vietai.
Be tantalo granulių, skirtų vakuuminiam padengimui, mes taip pat siūlome daugybę kitų labai gryno tantalo produktų, tokių kaip tantalo purškimo taikiniai,tantalo viela, tantalo lakštai, irTantalo varžtasspatenkinti įvairių pramonės gamybos ir mokslinių tyrimų taikymo poreikius.
Jei jums reikia profesionalių medžiagų pasirinkimo patarimų, pavyzdžių, oficialių gaminio duomenų lapų ar individualios kainos, susisiekite su mūsų komanda bet kuriuo metu.
